中圖儀器超精密激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

產(chǎn)品功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

5.具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

6.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

性能特點(diǎn)

1. 自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；

2. 測量過程全自動(dòng)化，效率高；

3. 可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強(qiáng)；

4. 超精密激光干涉儀sj6000可自動(dòng)生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算定位精度結(jié)果，無需人工計(jì)算。

回轉(zhuǎn)軸精度測量

光刻機(jī)Y軸Vertical Straightness測量

測量軟件

1.友好的人機(jī)界面；

2.豐富的應(yīng)用功能模塊；

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4.簡潔化的記錄管理；

5.支持中文、英文和俄文界面；

6.支持企業(yè)專屬模板定制。