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共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無法達(dá)到的分辨率。VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺(tái)：電動(dòng)手動(dòng)均可調(diào)節(jié)。有自動(dòng)化功能：自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、多區(qū)域定位自動(dòng)搜索測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW1白光干涉顯微測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

中圖儀器VT6000系列3d成像共聚焦測(cè)量顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，在陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中也具有廣泛的應(yīng)用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察，同時(shí)可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過程，原位觀察過程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。

VT6000系列光學(xué)納米共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測(cè)點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測(cè)量點(diǎn)的雜散熒光及來自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無法達(dá)到的分辨率。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。